氧化物半导体甲烷传感器研究进展

氧化物半导体甲烷传感器研究进展

丁海东, 赵宇龙, 孙智

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丁海东, 赵宇龙, 孙智. 氧化物半导体甲烷传感器研究进展[J]. 煤炭科学技术, 2005, (7).

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丁海东, 赵宇龙, 孙智. 氧化物半导体甲烷传感器研究进展[J]. 煤炭科学技术, 2005, (7).

氧化物半导体甲烷传感器研究进展

中国矿业大学材料科学与工程学院中国矿业大学材料科学与工程学院江苏徐州221008

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出版历程
- 网络出版日期: 2023-04-02
- 发布日期: 2005-07-24

摘要: 介绍了氧化物半导体甲烷气体传感器的工作机理,论述了改善氧化物半导体甲烷气敏传感器性能的几种途径。采用加入催化剂、控制材料的微细结构、利用新的制备工艺和表面修饰等新方法、新技术可提高氧化物半导体甲烷气敏元件的灵敏度、选择性、响应和恢复特性、稳定性。
- 甲烷 /
- 传感器 /
- 半导体氧化物

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